氮化硅（Si₃N₄）是一种由氮和硅元素组成的无机化合物，具有 α 和 β 两种晶型，均为六方晶系。α-Si₃N₄ 为颗粒结晶，β-Si₃N₄ 为针状结晶体。氮化硅具有硬度大、强度高、热膨胀系数小、高温蠕变小、抗氧化性能好、热腐蚀性能好、摩擦系数小等诸多优异性能，被广泛应用于航天航空、高铁、新能源汽车等领域，是绝缘栅双极晶体管以及氮化硅功率模块的重要核心散热材料。

氮化硅（Si₃N₄）是一种由氮和硅元素组成的无机化合物，具有 α 和 β 两种晶型，均为六方晶系。α-Si₃N₄ 为颗粒结晶，β-Si₃N₄ 为针状结晶体。氮化硅具有硬度大、强度高、热膨胀系数小、高温蠕变小、抗氧化性能好、热腐蚀性能好、摩擦系数小等诸多优异性能，被广泛应用于航天航空、高铁、新能源汽车等领域，是绝缘栅双极晶体管以及氮化硅功率模块的重要核心散热材料。